Pada garis pengeluaran 300mm, perubahan suhu sekecil beberapa darjah sahaja sudah cukup untuk mengganggu kawalan dimensi kritikal bahan yang digunakan. Oleh itu, pemanas perlu sentiasa bersih dan mampu mengekalkan suhu yang ditetapkan dengan tepat, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Apa yang benar-benar penting
Kami menggunakan unsur pemanas yang diperbuat daripada kwarsa berkualiti tinggi, agar kadar pelepasan gas dan kotoran logam dapat dikurangkan sebanyak mungkin. Bentuk badan kwarsa ini direka agar dapat memberikan respons yang cepat dan stabil, serta memastikan suhu tetap konsisten sepanjang proses pembakaran. Dalam praktiknya, ini bermakna suhu permukaan wafer dapat dikawal dalam lingkungan ±0.1°C. Unsur pemanas ini sesuai digunakan dalam persekitaran bilik bersih bertaraf Class 1 hingga Class 100. Ia juga tidak menghasilkan sebarang zarah apabila beroperasi dalam keadaan stabil. Ketepatan operasinya sangat tinggi, kerana ia dikalibrasikan dengan teliti pada setiap unit yang digunakan.
Mengapa ini penting dalam proses litografi dan penggunaan fotoresist
Dalam proses litografi dan penggunaan fotoresist, langkah pembakaran merupakan langkah penting untuk menghilangkan pelarut dan menstabilkan polimer. Dengan penggunaan unsur pemanas kwarsa ini, suhu permukaan wafer akan tetap konsisten, sehingga proses pembakaran dapat dilakukan secara berulang-ulang tanpa masalah. Kestabilan ini membantu mengurangkan kesilapan, sisa bahan yang tidak diinginkan, serta meningkatkan kecekapan proses. Selain itu, ia juga memastikan mesin dapat beroperasi 24/7 tanpa gangguan, kerana unsur pemanas ini tidak menyebabkan perubahan suhu yang mendadak atau peningkatan zarah-zarah yang boleh merosakkan persekitaran bilik bersih.
Apa yang perlu anda ketahui semasa pemasangan
Pemasangan unsur pemanas ini memerlukan penyesuaian mekanikal yang tepat, serta memastikan keserasian elektriknya dengan sistem yang digunakan. Unsur pemanas ini sangat sensitif terhadap tekanan mekanikal, jadi pemasangannya harus dilakukan dengan hati-hati agar tidak berlaku retakan akibat tork yang dikenakan. Rancanglah proses pemanasan secara berperingkat agar unsur pemanas dapat berfungsi dengan baik, dan memastikan ketepatan suhu serta pematuhan terhadap standard bilik bersih. Dengan cara ini, unsur pemanas ini dapat beroperasi selama ribuan jam tanpa masalah.