Mengapa kita menggunakan kaedah penyembuhan dengan sinar inframerah di bilik bersih
Ketika bekerja di kilang pengeluaran semikonduktor, “kebersihan” bukan sekadar tujuan semata-mata – ia merupakan perkara yang paling penting. Sebarang sisa atau zarah kecil pun boleh merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan.
Selama ini, orang-orang bergantung pada ketuhar konvensional untuk memanaskan bilik tersebut. Namun, masalahnya adalah ketuhar tersebut hanya mengeluarkan udara panas secara paksa. Ini bermakna kita perlu menggunakan banyak tenaga elektrik untuk memanaskan bilik tersebut sebelum wafer dapat dipanaskan sepenuhnya. Selain itu, pergerakan udara tersebut juga boleh menyebabkan debu terbang.
Itulah sebabnya kita menggunakan kaedah penyembuhan dengan sinar inframerah. Dengan cara ini, kita tidak perlu menggunakan udara untuk proses pemanasan.
Memanaskan permukaan wafer, bukan seluruh bilik
Bayangkan diri anda berdiri di bawah sinar matahari pada hari yang sejuk. Anda akan merasakan haba tersebut dengan segera, walaupun udara di sekeliling anda sangat sejuk. Itulah cara kerja sinar inframerah. Tenaga akan sampai terus ke permukaan wafer.
Oleh kerana kaedah ini sangat tepat, kita tidak perlu lagi menggunakan bahan katalis berbentuk pelarut atau bahan yang mengandungi plumbum. Kita hanya perlu menyesuaikan panjang gelombang cahaya agar sesuai dengan jenis fotoresist atau bahan gam yang digunakan. Suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam masa beberapa saat sahaja. Sangat cepat.
Mengurangkan kos tenaga dan risiko
Kebanyakan sistem pemanasan biasanya beroperasi 24/7 untuk memastikan suhu tetap stabil. Ini merupakan pembaziran tenaga yang besar.
Lampu inframerah pula berbeza. Ia boleh dihidupkan serta-merta. Kita boleh mengatur agar lampu tersebut hanya menyala apabila wafer berada di posisi yang tepat. Dengan cara ini, penggunaan tenaga dapat dikurangkan dengan ketara. Lagipun, tanpa adanya proses pembakaran atau aliran udara yang kuat, bilik bersih kelas 10 tetap akan kekal bersih.
Bahagian yang rumit
Namun, kaedah ini bukanlah sesuatu yang mudah digunakan. Sinar inframerah yang berintensiti tinggi boleh menyebabkan haba yang berlebihan pada permukaan wafer. Jika wafer tersebut tipis atau tidak tahan terhadap suhu tinggi, ia akan rosak. Untuk mengelakkan hal ini, kita memerlukan pengawal PID yang efektif serta alat pengukur suhu yang tepat.
Saya biasanya mencadangkan agar lampu inframerah dihidupkan secara berulang-ulang. Daripada beroperasi pada tahap 100% sepanjang masa, kita boleh mengurangkan intensiti cahaya tersebut. Ini akan membantu mengawal suhu dan melindungi peralatan tersebut.
Pada akhirnya, penggunaan kaedah inframerah bukan sekadar cara untuk menjadi “mesra alam”. Ia juga membantu mengurangkan masa yang diperlukan untuk menyelesaikan tugas tersebut, serta menghilangkan bahan kimia berbahaya yang mengandungi plumbum. Selagi sambungan elektriknya betul dan sistem penyejukan berfungsi dengan baik, ia merupakan cara yang paling efektif untuk menyelesaikan tugas tersebut.