Mengurangi Emisi Karbon dalam Proses Pembuatan Semikonduktor (Tanpa Merusak Peralatan)
Dalam proses pembersihan wafer semikonduktor, kita perlu mencapai keseimbangan yang tepat. Kita perlu menghilangkan kelembapan dari permukaan wafer secepat mungkin, tetapi kita juga tidak boleh membiarkan adanya sedikit pun kontaminasi.
Selama ini, orang-orang menggunakan metode pemanasan konvektif—yaitu dengan meniup udara panas ke seluruh permukaan wafer. Namun, kami telah menemukan cara yang lebih baik: penggunaan lampu inframerah yang tahan air.
Masalah yang dihadapi di lingkungan yang lembap
Proses pembersihan wafer sangat merusak peralatan. Dengan kelembapan tinggi dan uap kimia yang ada, lampu biasa tidak akan mampu bertahan lama. Untuk mencegah hal tersebut, kami menggunakan kemasan kuarsa khusus serta sistem penutup yang kedap udara. Hal ini membantu menjaga kelembapan jauh dari elektroda. Selain itu, kami juga menggunakan daya yang tinggi agar permukaan wafer dapat dikeringkan secara cepat. Semakin singkat waktu wafer berada di zona transisi tersebut, semakin baik hasilnya.
Mengatasi masalah “ketahanan air”
Ketika kita berbicara tentang “ketahanan air”, kita bukan berbicara tentang jaket hujan. Yang dimaksud adalah penggunaan komponen yang tahan panas serta penutup yang kedap udara, agar uap air tidak masuk ke dalam perangkat tersebut.
Namun, ada satu masalah: kuarsa akan mengembang ketika dipanaskan. Jika braket pengikatnya terlalu ketat, tabung tersebut bisa patah saat proses pemanasan berlangsung. Ini merupakan kesalahan yang harus dihindari, dan kami memastikan hal ini tidak terjadi dengan memilih bahan yang memiliki tingkat ekspansi yang sesuai.
Menghemat energi
Mengganti oven berbasis udara panas dengan sistem pemanasan inframerah merupakan langkah yang efektif untuk mengurangi emisi karbon. Alih-alih membuang-buang energi untuk memanaskan udara di dalam ruangan, sistem inframerah mengirimkan energi langsung ke permukaan wafer. Cara ini lebih efisien. Dengan demikian, biaya energi per wafer pun berkurang, sehingga memudahkan kita untuk memenuhi standar “pabrik hijau”.
Perlu diperhatikan bahwa lampu inframerah menghasilkan banyak panas. Jika sistem pendinginan dan ventilasi tidak memadai, sensor-sensor di sekitarnya akan overheat. Untuk menjaga kondisi yang stabil, kami menyarankan penggunaan sistem kontrol PID yang akurat. Sistem ini akan mengatur intensitas panas agar suhu yang diinginkan dapat dicapai tanpa melebihi batasnya.