अपने हीटिंग तत्वों के कारण अपने वेफरों की गुणवत्ता में कमी न आने दें।
यदि आपके पास क्लास 100 स्तर का क्लीनरूम है, तो आपको इस समस्या का अहसास जरूर होगा। थोड़ी सी धूल या रसायनिक गैस भी वेफरों की गुणवत्ता को खराब कर सकती है। यह बहुत ही निराशाजनक है… आपने उच्च गुणवत्ता वाले उपकरणों पर बहुत पैसा खर्च किया है, लेकिन सामान्य IR लैंप ही उस सब को बर्बाद कर देते हैं।
हमने इस समस्या का समाधान ढूँढ लिया है… हमने अपने सेमीकंडक्टर-ग्रेड लैंपों में उच्च शुद्धता वाला कृत्रिम क्वार्ट्ज उपयोग में लाया है… ऐसे में कोई धूल या रसायनिक गैस नहीं बनती।
शुद्धता का महत्व
अधिकांश लैंपों में सस्ते चिपकने वाले पदार्थों का उपयोग किया जाता है… जो 600°C पर ही खराब हो जाते हैं… यही कारण है कि दूषित पदार्थ लैंप की सतह पर जम जाते हैं… हमने ऐसे पदार्थों का उपयोग पूरी तरह बंद कर दिया है।
हम लगभग शून्य धात्विक अशुद्धियों वाला फ्यूज्ड सिलिका ही उपयोग में लाते हैं… यह बहुत ही अच्छा है… क्योंकि ऐसे में अशुद्धियाँ सतह पर नहीं जम पातीं… हमारे सील भी लगातार गर्मी/ठंड को सहन कर सकते हैं…
जहाँ आवश्यक है, वहीं गर्मी
ये लैंप उच्च तीव्रता वाला विकिरण प्रदान करते हैं… इसका फायदा यह है कि ये सीधे ही सब्सट्रेट को गर्म करते हैं… न कि पूरे चैंबर की हवा को…
यह बहुत ही तेज़ है… इसलिए HVAC सिस्टम को अतिरिक्त मेहनत नहीं करनी पड़ती… इससे वेफरों को सुखाने या फोटोरेसिस्ट को विकसित करने में आसानी होती है…
कुछ बातें ध्यान में रखें
उच्च शुद्धता वाला क्वार्ट्ज गर्मी के लिए बेहतरीन है… लेकिन यह बहुत ही कमजोर है… इसलिए इसे झटके नहीं देने चाहिए…
यदि मशीन शुरू होने/बंद होने के दौरान कंपन करती है, तो लैंप टूट सकता है… अपने माउंटिंग ब्रैकेटों को अवश्य ही सुरक्षित रखें…
इन लैंपों को सेमीकंडक्टरों के मानकों के अनुरूप ही डिज़ाइन किया गया है… अपने कूलिंग सिस्टम की जाँच अवश्य करें… यदि वे सही आकार के न हों, तो लैंप टूट सकता है…
यदि आप अपने मौजूदा लैंपों को बदलना चाहते हैं, तो ये लैंप आसानी से बदले जा सकते हैं… बस अपने लैंपों की लंबाई एवं वॉटेज की जाँच करें… फिर आप तैयार हैं।