Pourquoi l’or est indispensable pour vos chauffages à rayonnement infrarouge en vide
Si vous chauffez des wafer en silicium dans un environnement en vide, vous avez probablement remarqué que les règles habituelles ne s’appliquent pas. Il n’y a pas d’air pour transporter la chaleur, donc la convection n’est pas possible. Vous devez donc compter uniquement sur la radiation.
Le problème, c’est que si vous utilisez un réflecteur en aluminium ou en acier inoxydable ordinaire, vous gaspillez de l’argent. Une grande partie de l’énergie fournie disparaît dans le boîtier du réflecteur, au lieu d’atteindre le wafer.
C’est pourquoi nous choisissons l’or.
La magie de la réflectivité de l’or
Cela peut sembler exagéré, mais il y a une raison pratique à cela. Dans le spectre infrarouge, l’or est extrêmement efficace : il reflète plus de 98 % de l’énergie rayonnante. En appliquant une fine couche d’or sur le boîtier du réflecteur, nous nous assurons que les photons atteignent bien leur destination : directement le wafer. Cela permet d’améliorer l’efficacité du chauffage et de réduire les temps de préchauffage. C’est simplement plus efficace.
Protéger votre équipement de la chaleur
Pour porter un wafer à la température souhaitée, il faut des lampes à haute puissance. Mais toute cette énergie représente un risque réel. Sans cette couche d’or, le boîtier du réflecteur absorbe toute l’énergie excédentaire. Rapidement, le boîtier surchauffe, ce qui peut endommager la chambre ou détruire les joints hermétiques. C’est un vrai cauchemar à résoudre. L’or permet de diriger la chaleur vers la cible, et non vers la structure de l’appareil.
Les compromis à accepter
L’or n’est pas bon marché. Son coût initial est clairement supérieur à celui de l’aluminium. De plus, il faut être prudent lorsqu’on le manipule. Si votre équipe décide de nettoyer les réflecteurs avec des tampons abrasifs lors de la maintenance, cette couche d’or sera complètement enlevée. Une fois cela arrivé, l’efficacité de l’appareil diminue considérablement.
Je conseille généralement de vérifier la couche d’or toutes les 1 000 heures. Faites attention aux traces de corrosion ou de décoloration. Si vous remarquez de tels signes, vos wafers ne atteindront pas la température souhaitée. Ce qui est étrange, c’est que les compteurs de puissance indiqueront toujours la même valeur, mais la surface du wafer ne montrera pas les mêmes résultats. C’est un moyen subtil par lequel les performances de l’appareil peuvent diminuer.