Sur le site de fabrication, le séchage au four, qu’il soit doux ou intense, n’est pas simplement une étape supplémentaire. C’est plutôt un point clé dans le processus de production. Une déviation de 1°C pendant le traitement du photorésistant suffit à provoquer des défauts et à rendre toute une série de produits invendables. Nous avons conçu le contrôleur de séchage par infrarouge numérique afin d’éliminer ce risque thermique.
Ce qui est important sur le plan technique : Le contrôleur utilise un capteur NIR en boucle fermée, associé à un émetteur à réponse rapide, pour maintenir une température constante de ±0,1°C sur toute la surface de la puce. Cela permet d’obtenir des profils de séchage répétables pour le photorésistant. De plus, le contrôle en rampa garantit que l’évaporation des solvants se fasse de manière régulière, sans risque de formation de croûtes.
Ce dispositif est adapté aux conditions des salles propres : il est compatible avec les classes 1–100, ne génère aucune particule, et son fonctionnement ne provoque pas de rejets de gaz. Le système peut fonctionner 24/7, sans interruption, et sa durée de vie dépasse 50 000 heures.
Pourquoi ça marche en lithographie : En lithographie et dans le traitement du photorésistant, le taux de réussite dépend entièrement du contrôle de la température. Ce contrôleur stabilise la température là où c’est essentiel, c’est-à-dire sur la puce elle-même. Ainsi, le contrôle des dimensions critiques devient prévisible, plutôt que réactif.
La répétabilité du processus réduit les cycles de qualification et les retouches nécessaires. De plus, l’efficacité énergétique permet de réduire les coûts de production par lot. Le résultat ? Des profils de séchage constants, moins de produits invendables, et une productivité fiable, sans avoir à gérer les variations de température.
Les détails qui font fonctionner ce dispositif : L’installation est simple, mais le couple thermique est crucial. L’émetteur doit être monté de manière à correspondre à la géométrie du support et à l’émissivité de celui-ci. Sinon, le système ne pourra pas contrôler correctement les variations de température.
Il est nécessaire de bien planifier le câblage et le système de mise à la terre, en fonction des caractéristiques sonores de l’équipement. De même, il faut que les paramètres du contrôleur correspondent aux instructions de séchage du photorésistant. Si ces détails sont respectés, le dispositif fonctionnera correctement, jour après jour, shift après shift.