در خط تولید، فرآیند پخت نرم یا سخت، صرفاً یک مرحله دیگر نیست؛ بلکه یک مرحله حیاتی است. تغییر دمای ۱ درجه سانتیگراد در فرآیند پردازش فوتورزیست، میتواند باعث تغییر ابعاد لبههای قطعات شود؛ همچنین میتواند منجر به ایجاد نقصها و از بین رفتن کل محموله تولید شود. ما کنترلکننده خشککن مادون قرمز دیجیتالی را طراحی کردیم تا این خطرات حرارتی را از بین ببرد.
موارد مهم از نظر فنی:
این کنترلکننده از سنسورهای مادون قرمز با حلقه بسته استفاده میکند؛ همچنین از فرستندههایی با پاسخگویی سریع برای حفظ دمای مورد نظر در سطح یکنواختی ±۰.۱ درجه سانتیگراد استفاده میشود. این کنترلکننده، الگوهای پخت قابل تکراری برای فوتورزیست ارائه میدهد؛ همچنین کنترل تدریجی دما، باعث حفظ سرعت تبخیر حلالها میشود.
این کنترلکننده با شرایط سالنهای تمیز سازگار است؛ همچنین تولید هیچ گونه ذرهای در آن رخ نمیدهد. عمر مفید این سیستم بیش از ۵۰٬۰۰۰ ساعت است و میتواند ۷ روز در هفته، ۲۴ ساعت در روز کار کند.
چرا این کنترلکننده در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است؟
در فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش فوتورزیست، کیفیت محصول به دقت کنترل دما بستگی دارد. این کنترلکننده، دما را در جای مناسب، یعنی روی ویفر، تثبیت میکند؛ بنابراین کنترل ابعاد حیاتی قطعات، قابل پیشبینی میشود.
قابلیت تکرارپذیری این کنترلکننده، باعث کاهش زمان لازم برای تستها و کاهش کارهای تکراری میشود؛ همچنین کارایی انرژی، هزینههای تولید را کاهش میدهد. در نتیجه، الگوهای پخت یکنواختی ایجاد میشود؛ تعداد محمولههای از بین رفته کمتر میشود و میتوان به عملکرد قابل اعتماد این سیستم اطمینان داشت.
جزئیاتی که باعث موفقیت این کنترلکننده میشوند:
نصب این کنترلکننده ساده است؛ اما اتصال حرارتی آن بسیار مهم است. فرستنده باید به گونهای نصب شود که با ساختار چاک و خصوصیات انتشار حرارتی آن سازگار باشد؛ در غیر این صورت، حلقه کنترلی با بازتابها و تأخیرهای حرارتی مقابله خواهد کرد.
باید سیمکشی و سیستم زمینگیری را به گونهای طراحی کرد که با شرایط سیستم تجهیزات مطابقت داشته باشد؛ همچنین باید جدول پروفایلهای کنترلکننده را با دستورالعملهای پخت فوتورزیست هماهنگ کرد. اگر این جزئیات رعایت شوند، این کنترلکننده میتواند روز به روز و شیفت به شیفت، کار خود را انجام دهد.