Reducir las emisiones de carbono en la fabricación de semiconductores (sin dañar el equipo)
Cuando se trata de las etapas de enjuague en la fabricación de semiconductores, hay que encontrar un equilibrio delicado. Es necesario eliminar rápidamente la humedad de los wafer, pero al mismo tiempo no se puede permitir ni una sola partícula de contaminación.
Durante mucho tiempo, la gente se basó en el calentamiento por convección: es decir, sencillamente se utilizaba aire caliente para secar los wafer. Pero hemos encontrado una solución mejor: lámparas infrarrojas impermeables.
Los problemas relacionados con los entornos húmedos
Las líneas de enjuague son muy agresivas para el hardware. Debido a la alta humedad y a los vapores químicos, una lámpara normal no podría funcionar adecuadamente. Para evitar que las lámparas se dañen prematuramente, utilizamos envolturas de cuarzo especializadas y sellos herméticos. Esto evita que la humedad llegue a los electrodos. Además, buscamos una alta densidad de potencia. ¿Por qué? Porque así se puede secar la superficie del wafer de manera instantánea. Cuanto menos tiempo pase el wafer en esa zona de transición, mejor será el rendimiento.
El aspecto “impermeable”
Cuando hablamos de “impermeabilidad”, no nos referimos a un impermeable común. Nos referimos a juntas de alta temperatura y tapas herméticas que impiden que el vapor y las salpicaduras entrén en el dispositivo.
Pero hay un problema: el cuarzo se expande cuando se calienta. Si las bridas de sujeción son demasiado ajustadas, el tubo puede romperse durante un ciclo de calentamiento. Es un error frustrante que procuramos evitar al ajustar perfectamente las tasas de expansión.
Ahorro de energía (y tranquilidad mental)
Cambiar esos hornos que utilizan aire forzado por sistemas de calefacción por infrarrojos es una gran ventaja para el planeta. En lugar de desperdiciar energía calentando cada centímetro cúbico del aire en la cámara, las lámparas infrarrojas envían energía directamente al sustrato. Es más eficiente. De esta manera, se reduce el consumo de kilovatios por wafer, lo que facilita cumplir con los requisitos de las “fábricas verdes”.
Un consejo: estas lámparas generan mucha calor radiante. Si el sistema de refrigeración y ventilación no es suficiente, los sensores cercanos pueden sobrecalentarse. Para mantener todo bajo control, recomendamos utilizar un sistema de control PID preciso. Este sistema regula la potencia para que se alcance la temperatura deseada sin excederla y causar problemas.