Snižování uhlíkových emisí při výrobě polovodičů (aniž byste poškodili své vybavení)
Při pracích spojených s oplachováním výrobků v průběhu výroby polovodičů je potřeba najít správnou rovnováhu. Je nutné co nejrychleji odstranit vlhkost z destičky, ale zároveň nesmí dojít k jediné kontaminaci.
Dlouho lidé spoléhali na konvekční ohřev – v podstatě foukání horkého vzduchu všude kolem. My jsme však našli lepší řešení: vodotěsné infračervené lampy.
Problémy s vlhkým prostředím
Oplachovací linky jsou pro elektronické zařízení velmi náročné. Kvůli stálé vlhkosti a chemickým párům by běžná lampa prostě přestala fungovat. Aby se zabránilo jejich předčasnému selhání, používáme speciální kvartové obaly a hermeticky uzavřené koncové části. To chrání elektrody před vlhkostí. Navíc používáme vysoce účinné lampy. Proč? Protože chceme povrch destičky okamžitě vysušit. Čím méně času stráví destička v této „přechodové zóně“, tím lepší bude výsledná produktivita.
Řešení problémů spojených s vodotěsností
Když mluvíme o „vodotěsnosti“, nemyslíme si to jako deštník. Myslíme si to jako vysokoteplotní těsnění a hermeticky uzavřené koncové části, které brání proniknutí páry a kapalin do zařízení.
Je však jeden problém: kvarcit se při zahřátí rozšiřuje. Pokud jsou upevňovací prvky příliš pevné, trubice může během procesu zahřívání prasknout. Je to frustrující chyba, které se snažíme předejít tím, že perfektně sladíme míru rozšiřování kvarcitu.
Úspora energie (a vaší nervové soustavy)
Přechod z těch obrovských ohřívačů na cílené infračervené ohřevy je opravdu velkým pokrokem pro planetu. Místo plýtvání energií na ohřev každého kubického centimetru vzduchu v komoře posílá infračervené záření energii přímo na povrch destičky. Je to efektivní řešení. Tím se snižuje spotřeba energie na jednu destičku, což usnadňuje plnění požadavků na „zelené továrny“.
Jen upozornění: tyto lampy vydávají hodně radiálního tepla. Pokud chlazení a ventilace vašeho zařízení nejsou dostatečné, senzory v okolí začnou přehřívat. Aby vše fungovalo stabilně, doporučujeme použít precizní regulaci pomocí PID kontrolního obvodu. Ten reguluje výkon tak, abyste dosáhli požadované teploty bez nadměrného ohřevu.