আপনার হিটিং এলিমেন্টগুলো যেন আপনার ওয়েফারগুলোকে ধ্বংস না করে।
যদি আপনি ক্লাস ১০০ ক্লিনরুম ব্যবহার করেন, তাহলে আপনি ইতিমধ্যেই এই সমস্যার কথা জানেন। কোটিংয়ের একটি ছোট্ট টুকরো বা ল্যাম্প থেকে নির্গত কেমিক্যাল গ্যাসই আপনার উৎপাদন ক্ষমতাকে ধ্বংস করে দেয়। এটা খুবই হতাশাজনক। আপনি পরিবেশ রক্ষার জন্য অনেক টাকা খরচ করেছেন; কিন্তু সাধারণ IR ল্যাম্পগুলোই সবকিছু নষ্ট করে দেয়।
আমরা এই সমস্যা সমাধানের উপায় খুঁজে পেয়েছি। আমরা সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ল্যাম্পগুলোর জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিনথেটিক কোয়ার্টজ ব্যবহার করছি। এতে কোনো ধরনের দূষণ হয় না।
বিশুদ্ধতার গুরুত্ব
বেশিরভাগ ল্যাম্পে সস্তা আঠা বা সিলিং ব্যবহৃত হয়; এগুলো ৬০০°C তাপমাত্রায় ধোঁয়া উৎপন্ন করে। এখান থেকেই দূষণ শুরু হয়। আমরা এই ধরনের উপাদানগুলো সম্পূর্ণভাবে বাদ দিয়েছি।
আমরা প্রায় শূন্য ধাতব অশুদ্ধি সহ ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি। এটা খুবই গুরুত্বপূর্ণ; কারণ এটা উচ্চ তাপমাত্রায় অশুদ্ধিগুলো পৃষ্ঠে চলে আসার সমস্যাকে দূর করে। আমাদের সিলিংগুলো ক্রমাগত উত্তপ্ত/শীতল অবস্থার মধ্যেও ভাঙে না।
যেখানে প্রয়োজন সেখানেই তাপ
এই ল্যাম্পগুলো উচ্চ-তীব্রতার শর্টওয়েভ রেডিয়েশন নির্গত করে। এর ফলে শুধুমাত্র সাবস্ট্রেটটিই উত্তপ্ত হয়; চেম্বারের বাতাস নয়।
এটা খুবই দ্রুত ঘটে। আপনার HVAC সিস্টেমকে অতিরিক্ত চাপ সামলাতে হয় না। এটা ওয়েফার শুকানো বা ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ার জন্য আদর্শ।
কিছু বিষয় লক্ষ্য রাখুন
উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ তাপ প্রদানের জন্য দারুণ; কিন্তু এটা ভঙ্গুর। এটা কোনো ধরনের আঘাত সহ্য করতে পারে না।
যদি মেশিনটি চালু/বন্ধ হওয়ার সময় কম্পন করে, তাহলে ল্যাম্পটি ভেঙে যেতে পারে। অবশ্যই আপনার মাউন্টিং ব্র্যাকেটগুলো ঠিকমতো সুরক্ষিত রাখুন।
আরও, সেমিকন্ডাক্টর স্ট্যান্ডার্ড মেটানোর জন্য এগুলো অত্যন্ত উত্তপ্ত হয়। অবশ্যই আপনার কুলিং সিস্টেমগুলো ঠিকমতো চেক করুন। যদি সেগুলো ঠিক না থাকে, তাহলে ল্যাম্পগুলো গলে যেতে পারে।
যদি আপনি বর্তমান ল্যাম্পগুলো পরিবর্তন করতে চান, তাহলে এগুলো সরাসরি প্রতিস্থাপন করা যায়। শুধুমাত্র ল্যাম্পগুলোর দৈর্ঘ্য ও ওয়াটেজ চেক করুন; তাহলেই হবে।