ফ্যাব ফ্লোরে, ব্যাটারি সেপারেটর ফিল্মে এক মাইক্রন পরিমাণ আর্দ্রতা থাকলেই সেলগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যায়; ফলে পুরো ব্যাটারি নষ্ট হয়ে যায়। আপনি ক্লাস ১০০ মানে কাজ করছেন; তাই থার্মাল প্রক্রিয়াটি অবশ্যই পুনরাবৃত্তিযোগ্য হওয়া উচিত—মেট্রোলজি স্ট্যান্ডার্ড অনুযায়ী, কোনো অনুমান নয়। সাধারণ ওভেনগুলোতে তাপমাত্রা অস্থির থাকে; ফলে কণার পরিমাণ বৃদ্ধি পায়। এটা কোনোভাবেই গ্রহণযোগ্য ঝুঁকি নয়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা সেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তি অনুযায়ী একটি সেপারেটর ফিল্ম ড্রায়ার তৈরি করেছি। এখানে ফিল্মের সর্বত্র তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; আর NIR হিটিং ব্যবহার করে দ্রুত ফিল্মটিকে শুকানো হয়, কিন্তু পলিমার পৃষ্ঠ ক্ষতিগ্রস্ত হয় না। চেম্বারটি ক্লাস ১ থেকে ক্লাস ১০০ পর্যন্ত ক্লিনরুম-সংগত; এর অভ্যন্তরীণ অংশগুলো পলিশযুক্ত, আর কণা উৎপাদন শূন্য রাখার জন্য কম গ্যাস নির্গমনকারী উপাদান ব্যবহৃত হয়। ফটোরেসিস্ট-গ্রেড কন্ট্রোল ব্যবস্থা ব্যবহার করে নির্দিষ্ট হারে ফিল্মটিকে শুকানো হয়; ফলে ফিল্মের আকার স্থিতিশীল থাকে। ২৪/৭ ঘন্টা এটি চালানো যায়; প্রিডিক্টিভ মেন্টেনেন্সের কারণে অপ্রত্যাশিত বন্ধতা থাকে না, আর সাইকেল টাইমগুলোও স্থিতিশীল থাকে।
ব্যবহারিকভাবে এটি কেন কার্যকর?
আপনার কোনো বিশেষ দক্ষতার দরকার নেই—শুধুমাত্র পুনরাবৃত্তিযোগ্যতাই যথেষ্ট। এই ড্রায়ারটি তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে প্রতিবারই একই ফলাফল পাওয়া যায়। উচ্চতর স্থিতিশীলতা ত্রুটিগুলো কমায়, উৎপাদন বৃদ্ধি করে, আর ওয়ার্ম-আপ ও রিকভারি সময় কমায়। এনার্জি ব্যবহারও কমে যায়, কারণ NIR হিটিং সরাসরি ফিল্মকে গরম করে, চেম্বারের অন্যান্য অংশগুলোকে নয়। লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়ও এই নির্ভুলতা কাজে আসে—ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো স্থিতিশীল থাকে, আর ত্রুটিগুলো কমে যায়।
কী বিষয়গুলো লক্ষ্য করা উচিত?
NIR-এর জন্য লাইন-অব-সাইট ও নিয়ন্ত্রিত এমিসিভিটি প্রয়োজন। যদি ফিল্মে রিফ্লেক্টিভ অ্যাডিটিভ থাকে, তাহলে বিশেষ ল্যাম্প ম্যাপ ও ক্যালিব্রেশন প্রয়োজন। নতুন চেম্বারে এটি সহজেই ইনস্টল করা যায়; কিন্তু রিটোফিট করার জন্য ক্লিনরুম-সংগত পাওয়ার সিস্টেম ও ভেন্টিলেশন ব্যবস্থা প্রয়োজন। হট জোনগুলো চিহ্নিত করার জন্য সংক্ষিপ্ত টেস্ট চালানো উচিত। ক্যালিব্রেট হয়ে গেলে এটি ওয়েফার ট্র্যাক ড্রায়িংয়ের মতোই কাজ করে।